陶瓷絕緣子（主要是氧化鋁陶瓷）以其優(yōu)良的機(jī)電性能長(zhǎng)期被廣泛應(yīng)用于特種電真空器件中，起著高壓絕緣、真空密封和支撐固定等作用。而當(dāng)高壓真空設(shè)備中引入絕緣介質(zhì)時(shí)，其耐壓能力通常大大低于相同距離的真空間隙，這種現(xiàn)象產(chǎn)生的原因正是絕緣介質(zhì)在真空中發(fā)生了沿面閃絡(luò)。沿面閃絡(luò)現(xiàn)象的存在制約了許多電真空器件的電學(xué)性能，甚至影響尖端電氣設(shè)備的運(yùn)行，造成巨大損失。所以氧化鋁陶瓷絕緣子表面絕緣能力的提高已成為電真空領(lǐng)域所關(guān)注和亟待解決的問(wèn)題之一。國(guó)內(nèi)外的研究者做了大量工作，采用改變絕緣子的外形和電很結(jié)構(gòu)、表面涂覆涂層、表面加工及表面改性等方式來(lái)提高氧化鋁陶瓷真空耐壓能力和陶瓷表面性能。
從絕緣材料角度出發(fā)，表面改性可在不改變陶瓷內(nèi)在性能的前提下改善其表面性能，從而達(dá)到提高表面絕緣能力的目的，具有很大的優(yōu)勢(shì)。從應(yīng)用和可行性角度看，體摻雜是較容易實(shí)現(xiàn)的，而且不會(huì)像涂層一樣易脫落。Cr2O3是氧化鋁陶瓷常用的添加劑，它可以無(wú)限固溶入氧化鋁品格中并促進(jìn)燒結(jié)，又可以可靠的降低二次電子發(fā)射系數(shù)，但是對(duì)于Cr203的添加量并沒(méi)有系統(tǒng)的研究，本文以95氧化鋁陶瓷為基體，通過(guò)添加Cr203研究其對(duì)陶瓷燒結(jié)與真空耐壓性能的影響。
2實(shí)驗(yàn)
2.1樣品制備
采用Ca-Al-Si-Mg四元95氧化鋁陶瓷為基料，Cr203的添加采用外加的形式進(jìn)行元素?fù)诫s。分別添加0~1.Swt%的三氧化二鉻，以蒸餾水為研磨介質(zhì)，在行星球磨機(jī)上180r/min球磨6h，烘干后加入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5%的PVA溶液進(jìn)行造粒，在30MPa壓力的冷等靜壓下壓制成生坯，在硅碳棒爐中600℃下保溫2h排除PVA后，再繼續(xù)升溫至1550℃保溫2h，燒結(jié)制得紅色氧化鋁陶瓷。
2.2樣品性能表征
采用阿基米德排水法測(cè)試樣品的顯氣孔率和體積密度；將樣品做適當(dāng)清洗，用導(dǎo)電膠將試樣粘在樣品臺(tái)上，噴金后用TM3000掃描電子顯微鏡觀察試樣的表面形貌。利用高阻儀測(cè)量陶瓷樣品的體積電阻，進(jìn)而計(jì)算電阻率；用Agilent8722ET網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)試介電常數(shù)，測(cè)試頻率范圍5~10GHz，諧振模式為T(mén)E011。
2.3真空耐壓測(cè)試
真空耐壓測(cè)試是在真空耐壓實(shí)驗(yàn)裝置中進(jìn)行，樣品尺寸420mm×20mm，試樣上下兩面被銀，置于兩平行平板電很之間。本次實(shí)驗(yàn)功率源采用的是Marx電源，較大輸出電壓200kV，為了減少樣品吸附氣體的影響和測(cè)試的分散性，測(cè)試專(zhuān)門(mén)使用了真空下除氣和傳送到電很的裝置。實(shí)驗(yàn)前，先用丙酮、純凈水和酒精在很聲波下清洗3min，然后將樣品放入右腔中，啟動(dòng)真空泵組，待左右腔真空度都低于5×10。Pa后開(kāi)始加熱至450℃除氣，除氣時(shí)間3h。待樣品冷卻后，用一套氣動(dòng)傳送裝置將樣品傳送到電很上測(cè)試。測(cè)試起始電壓為70kV，同一電壓加載5次，如果樣品在這5次加壓過(guò)程中均沒(méi)有發(fā)生沿面閃絡(luò)，則增加電壓幅值，每次增加幅度約為5kV，直到樣品出現(xiàn)次沿面閃絡(luò)，定義該電壓為首次擊穿電壓（Vfb）；然后重復(fù)前面過(guò)程，直到樣品在某一電壓下出現(xiàn)連續(xù)三次沿面閃絡(luò)，定義該電壓為老練電壓（Vco）。樣品到達(dá)老練電壓后，開(kāi)始降低加載電壓，降低幅度為5kV，直到樣品一次閃絡(luò)均不發(fā)生為止，定義該電壓為耐受電壓（Vho。）。測(cè)試流程如圖1所示，O代表沒(méi)有閃絡(luò)，×代表發(fā)生閃絡(luò)，圖中所示的首次擊穿電壓為85kV，老練電壓為95kV，耐受電壓為75kV。
3結(jié)果與討論
3.1陶瓷基體性能分析
從表1中可以看出，在較低的燒結(jié)溫度（1550℃）條件下，顯氣孔率隨Cr203摻雜量總體下降，Cr203與Al2O3具有相同的品格類(lèi)型，Cr3+的半徑稍大于Al3+的半徑，電子結(jié)構(gòu)、電負(fù)性也有不同，兩者可形成連續(xù)固溶體，品格發(fā)生一定畸變，促進(jìn)了陶瓷的致密化。但是隨著摻雜含量的增加，氣子L率和體積密度并沒(méi)有發(fā)生很大的改變。從表中也可以看出，隨著Cr含量的不斷增加，95氧化鋁陶瓷的體電阻率和介電常數(shù)略微下降，但是變化不大，摻雜并未過(guò)多降低樣品的體電性能。摻雜了Cr3+的氧化鋁陶瓷呈現(xiàn)紅色，并且紅色隨著Cr含量的增加而加深，這是由于是因?yàn)殂t元素為過(guò)渡元素，外層電子不飽和，固溶到Al2O3晶格中的鉻離子對(duì)可見(jiàn)光450~550nm頻段（藍(lán)綠色）有強(qiáng)烈的選擇性吸收，從而使瓷體呈現(xiàn)紅色。
3.2真空耐壓性能分析
表2為采用圖1所示實(shí)驗(yàn)方案分別對(duì)Cr203含量為0~1.5wt%的氧化鋁陶瓷進(jìn)行真空中沿面耐壓測(cè)試的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，從表2中可見(jiàn)：在相同的實(shí)驗(yàn)條件下，摻雜鉻的氧化鋁陶瓷樣品具有明顯高于未摻雜陶瓷樣品的首次擊穿電壓y。，、老練電壓K。和耐受電壓Vh。。未摻雜的95%氧化鋁陶瓷的耐電壓僅為21.1kV／cm，而圖2顯示，隨著鉻摻雜含量的增加，樣品的沿面擊穿電壓有一個(gè)明顯的先增后降的趨勢(shì)，在Cr203含量為0.5wt%時(shí)達(dá)到較大值65kV/cm。當(dāng)摻雜含量大于1wt%時(shí)，樣品已經(jīng)不能耐受住測(cè)試的初始電壓（70kV）而被擊穿。
3.3討論
根據(jù)二次電子雪崩理論（secondaryelectronemlssionavalanche，SEEA）對(duì)真空中脈沖電壓下絕緣子沿面閃絡(luò)發(fā)生、發(fā)展過(guò)程的描述，陶瓷絕緣子的閃絡(luò)電壓與其體表面特性密切相關(guān)。氣孔率、表面電阻率、二次電子發(fā)射系數(shù)等則是影響其沿面閃絡(luò)電壓的主要因素。陶瓷樣品的氣孔率在Cr203摻雜后明顯降低，同時(shí)也降低了燒結(jié)溫度，保證了樣品具有較小的晶粒尺寸，這表明陶瓷樣品具有更高的致密度，樣品均勻性和絕緣性能也得到了較大的提高。圖3是不同Cr2O3摻雜含量的氧化鋁陶瓷表面SEM圖，從圖中可以看到這些未經(jīng)處理的陶瓷表面形貌，未摻雜的陶瓷樣品氣孔較多，晶粒未發(fā)育好，顆粒尺寸不均勻，表面情況較差；圖3（b)、圖3（c）、圖3（d）的氣孔較少，基本致密。由于燒結(jié)樣品中氧化鋁含量較高，玻璃相較少，所以晶界清晰，另外Mg0的存在也可以抑制Al2O3陶瓷晶粒生長(zhǎng)，使陶瓷晶粒細(xì)小均勻，并且Mg0的引入對(duì)氧空位濃度無(wú)明顯促進(jìn)效果。從圖d中明顯可以看出摻雜1.5wt%Cr2O3的陶瓷樣品晶粒較大，這是由于Cr2O3的添加量較多，固溶到氧化鋁品格當(dāng)中，降低了燒結(jié)活化能，進(jìn)一步促進(jìn)燒結(jié)，也使其晶粒能夠進(jìn)一步長(zhǎng)大。
由于Cr203具有很低的二次電子發(fā)射系數(shù)（0.95左右），所以，Cr203的添加能有效地降低氧化鋁陶瓷的二次電子發(fā)射系數(shù)，從而提高其表面耐壓能力，這已經(jīng)在很多文獻(xiàn)中報(bào)道過(guò)，但是從真空耐壓數(shù)據(jù)（表2)中可以看出，過(guò)量添加Cr203反而會(huì)惡化材料的真空絕緣性能。在實(shí)際氧化鋁陶瓷絕緣子中，由于摻雜和在燒結(jié)過(guò)程中引入的缺陷和內(nèi)應(yīng)力，禁帶里存在局域能級(jí)即陷阱。晶界結(jié)構(gòu)的缺陷及晶粒的大小都會(huì)影響陷阱的分布，陷阱的存在增加了絕緣子表面荷電量，在導(dǎo)致閃絡(luò)發(fā)展的主要因素中，介質(zhì)的二次電子發(fā)射過(guò)程與載流子的入陷、脫陷作用共同對(duì)閃絡(luò)發(fā)展過(guò)程做出貢獻(xiàn)，并直接影響到表面帶電以及微放電等現(xiàn)象，從而降低了絕緣子的閃絡(luò)電壓。Cr203的摻雜雖然可以降低樣品整體的二次電子發(fā)射系數(shù)，降低樣品的氣孔率，但是過(guò)量摻雜的Cr203在固溶入Al203晶格的同時(shí)也會(huì)造成晶格畸變，造成很多缺陷和陷阱。陷阱電荷量越大，表面電荷密度也就越大，陶瓷的真空沿面閃絡(luò)電壓也就越低。另外，晶粒的尺寸越大，晶界越長(zhǎng)，則產(chǎn)生的缺陷越多，故細(xì)化晶粒也可以增加陶瓷的真空沿面閃絡(luò)電壓。并且摻雜過(guò)量的Cr203也會(huì)降低樣品的體電阻率，本身的體電性能也會(huì)大幅下降。
4結(jié)論
在質(zhì)量分?jǐn)?shù)為95%的AlzO，陶瓷中摻雜0~1.5wt%的Cr203，球磨后的均勻粉體壓制成生坯，在1550℃燒結(jié)2h制備鉻摻雜的氧化鋁陶瓷絕緣子。研究了鉻的摻雜含量對(duì)該絕緣材料燒結(jié)性能和真空絕緣性能的影響。結(jié)果表明：
（1)在基本保持95%氧化鋁陶瓷體絕緣性能的前提下，Cr3+摻雜顯著降低了95%氧化鋁陶瓷的氣孔率，促進(jìn)了陶瓷的燒結(jié)，使鉻摻雜的氧化鋁陶瓷樣品晶粒更細(xì)小，分布更均勻。
（2)摻雜量為0.5wt%的Cr203真空沿面閃絡(luò)電壓較高，達(dá)到65kV/cm，主要原因是鉻的摻雜降低了樣品的氣孔率和二次電子發(fā)射系數(shù)，過(guò)量摻雜的樣品由于造成了更多的晶體結(jié)構(gòu)缺陷，反而降低了陶瓷絕緣子的真空耐電壓。